品牌海展 | 型号ST-100 |
产品别名TAPPING | 用途半导体研磨前贴膜 |
适用行业半导体,LED | 产品用途晶圆减薄芡贴保护膜 |
规格6,寸,8寸,12寸 | 是否跨境货源否 |
半自动晶圆减薄贴膜机
(型号st200)
主要规格
1.1晶圆尺寸: 直径:’,6”&8”
厚度:300~750微米
1.2晶圆种类: 硅,砷化镓或其他
单边,双边,v型缺口
1.3膜种类: 蓝膜或者uv膜
宽度: 180~240毫米
长度: 100米
厚度: 0.05~0.2毫米
1.4贴膜原理: 防静电滚轮贴膜
1.5贴膜动作: 膜自动传送并贴覆
1.6切割刀温度: 可控温度在室温~150°c
1.7晶圆台盘: 通用特氟隆涂层接触式台盘
1.8装卸方式: 晶圆手动放置与取出
1.9防静电控制: 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电膜传送滚轮和防静电贴膜滚轮
贴膜部位配防静电离子风棒装置
1.10切割系统: 独特的可调整的环切刀技术,一圈即可适应各种晶圆外形,
无任何飞边,无需二次修剪,
独特的直切刀技术保证胶膜应用***节省
1.11晶圆定位: 气动销钉接触晶圆的边缘
1.12控制单元: 基于plc控制带5”触摸频
1.13电力供应: 单相交流电220v,10a
1.14压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺
1.15体积: 500毫米(宽)*800毫米(深)*350毫米(高)
1.16净重: 60公斤
2.机器性能:
2.1晶圆收益: >=99.9%
2.2贴膜质量: 没有气泡(不包括碎粒气泡)
2.3 每小时产能: >=80片晶圆
2.4更换产品时间: <=5分钟
上海海展自动化设备有限公司
李先生
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